Este documento abarca el monitoreo de la limpieza del aire por las partículas en términos de concentración de partículas a nanoescala en el aire. Con fines de monitoreo, se consideran sólo las poblaciones de partículas con un límite de tamaño inferior de 0,1 micrones (100 nm) o menos - "nanoescala". El monitoreo que figura en el presente documento se utiliza principalmente en los estados "operacionales". Nota 1. A los efectos del presente documento, se hace referencia a "partículas en nanoescala", es decir, a todos los nano-objetos que tienen una (nanoplaca), dos (nanofibra) o tres (nanopartícula) dimensiones en la nanoescala. Nota 2. En consecuencia, las especificaciones para el monitoreo de la limpieza del aire mediante la concentración de partículas en nanoescala del cuarto limpio en estado operacional también tienen en cuenta las especificaciones del proceso, por ejemplo, el equipo usado, el comportamiento del personal, entre otros. Nota 3. Las consideraciones de salud y seguridad están excluidas de este documento.