Este documento establece los procesos de ensayo adecuados para determinar la limpieza de las superficies en los cuartos limpios con respecto a la presencia de compuestos o elementos químicos (incluyendo moléculas, iones, átomos y partículas). Este documento es aplicable a todas las superficies sólidas de los cuartos limpios y ambientes controlados asociados, como paredes, techos, suelos, superficies de trabajo, herramientas, equipos y dispositivos. Nota 1. A efectos de este documento, sólo se tienen en cuenta las características químicas de una partícula. No se consideran las propiedades físicas de la partícula y este documento no cubre la interacción entre la contaminación y la superficie. Nota 2. Este documento no incluye el proceso de generación de la contaminación ni las influencias dependientes del tiempo (por ejemplo, deposición, sedimentación, envejecimiento) ni las actividades dependientes del proceso, como el transporte y la manipulación. Tampoco incluye orientaciones sobre las técnicas estadísticas de control de calidad para garantizar la conformidad.